l   能量分辨率：0.48eV/(Ag 3d5/2），0.68eV/(C 1s)（PET 上O-C=O 的C 1s ）

l   最小分析区域（收谱） <10μm

l   空间分辨率 (快速平行成像 )：小于3μm；空间分辨率(扫描成像): 15μm 和27μm

功能及特性

l   主要用于各种无机和有机固体材料的表面元素或其价态的定性和定量分析，表面元素的化学成像及深度剖析。

l 可用于腐蚀、摩擦、浸润、粘接、催化、包覆、氧化等表面和界面过程的研究。