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| 规格 |
孔径(D) |
孔间距 |
孔深（d） |
尺寸 |
备注 |
| Al-PA-1 |
90nm |
110nm |
50nm |
20*20mm |
5片起 |
| Al-PA-2 |
400nm |
450nm |
100nm |
20*20mm |
5片起 |
| Al-PA-3 |
50nm |
70nm |
30nm |
20*20mm |
5片起 |
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陈谷一