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技术指标
l Z轴测试精度0.1nm
l 噪音水平 XY方向小于0.3 nm RMS，Z方向小于0.2 nm RMS
l 扫描模式：接触模式、轻敲模式、侧向力模式
功能及特性
l 石墨烯微观表面形貌分析
l 样品表面导电性分布
l 电压刻蚀处理
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l 噪音水平 XY方向小于0.3 nm RMS，Z方向小于0.2 nm RMS
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陈谷一