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技术指标
l LED 光源波长：505 nm
l 测量耗时：5到10 秒
l Z 方向测量范围：250μm，分辨率：2nm
l X/Y 方向，平台移动范50mmX50mm，（马达驱动），分辨率：0.3μm
l 物镜：10X、20X、50X、100X
功能及特性
l 检测样品表面形貌
l 测量样品的高度、深度以及起伏角度（纳米级分辨率）
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l 测量耗时：5到10 秒
l Z 方向测量范围：250μm，分辨率：2nm
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陈谷一