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技术指标
l SEM扫描成像功能
l 电子束曝光微加工最小尺度20nm
l 探针台针尖分辨率3µm
l keithley 2612A双通道源表
功能及特性
l 石墨烯微纳米器件制备
l IV曲线测试，电阻、迁移率测试
l 光电响应特性测试
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陈谷一