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Nanoscope System NS3600三维激光共聚焦显微镜
NS-3600是一款高速共聚焦激光扫描显微镜（CLSM），可用于精确可靠的3维（3D）测量。 通过快速光学扫描模块和信号处理算法可实现实时共聚焦显微图像。
这是测量和检查微观3D结构有前途的解决方案，例如半导体晶圆，FPD产品，MEMS器件，玻璃基板和材料表面。
Features & Benefits（性能及优势）：
高分辨无损伤光学3D测量 自动倾斜补偿
实时共焦成像 简单的数据分析模式
多种光学变焦 双Z扫描
大范围拼接 半透明基材的特征检测
实时CCD明场和共聚焦成像 无样品准备
自动聚焦
Software (软件）：
Application field（应用领域）：
NS-3600是测量低维材料的有前途的解决方案。
可测量微米和亚微米结构的高度，宽度，角度，面积和体积，例如
-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺
- FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度
- MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形
-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案
-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析
Specifications（规格）：
Model |
Microscope NS-3600 |
备注 |
||||
物镜倍率 |
10x |
20x |
50x |
100x |
||
观察/ 测量范围 |
水平 (H): μm |
1400 |
700 |
280 |
140 |
|
垂直 (V): μm |
1050 |
525 |
210 |
105 |
||
WD: mm |
16.5 |
3.1 |
0.54 |
0.3 |
||
| 数值孔径(N.A.) | 0.30 |
0.46 |
0.80 |
0.95 |
||
观察/测量光学系统 |
针孔共聚焦光学系统 |
|||||
高度测量 |
测量扫描范围 |
10mm |
||||
显示分辨率 |
0.001 μm |
|||||
重复率 σ |
0.02 μm |
注1 |
||||
宽度测量 |
显示分辨率 |
0.001 μm |
||||
重复率 3σ |
0.03 μm |
注 2 |
||||
帧记忆 |
像素 |
1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 |
||||
单色图像 |
12 bit |
|||||
彩色图像 |
8-bit for RGB each |
|||||
高度测量 |
16 bit |
|||||
帧速率 |
表面扫描 |
20 Hz to 160 Hz |
||||
线扫描 |
~8 kHz |
|||||
激光接收元件 |
PMT (光电倍增管) |
|||||
激光 |
波长 |
638nm (2mW) |
||||
光学观察照相机 |
成像元件 |
彩色图像 CCD 传感器 |
||||
记录分辨率 |
1296x966 |
|||||
数据处理单元 |
专用 PC |
|||||
电源 |
电源电压 |
100 to 240 VAC, 50/60 Hz |
||||
电流消耗 |
500 VA max. |
|||||
重量 |
显微镜 |
大约. ~50 kg (测量头大约: ~12 kg) |
||||
控制器 |
~8 kg |
|||||
隔振系统 |
气浮隔振 |
Option |
||||
注1:100次测量标准样品(1μm高度) 100 x/ 0.9物镜。
注2:100次测量标准样品(5μm 间距) 100 ×/ 0.9物镜。
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陈谷一